الطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى (EUVL) – تقرير

الطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى (EUVL) هي تقنية متقدمة تستخدم مصدر ضوء بطول 13.5 نانومتر وهي مرشحة رائدة لعقدة بطول 22 نانومتر طباعة الحجرية وبعده. فوق البنفسجي طباعة الحجرية هو الآن في المرحلة التجريبية باستخدام أدوات 0.33-NA في مواقع تصنيع الرقائق. ومن المتوقع الإنتاج على نطاق واسع في المستقبل القريب.

EUV – تحديثات التكنولوجيا

الزخرفة المتعددة
ترسيب الطبقة الذرية (ALD)
بيليكل
يطلق عليها اسم عالية NA
منصة عالية NA، تسمى "EXE".

الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية: ما هي الخطوة التالية؟

التحدي في EUVL هو الامتصاص القوي لإشعاع EUV بواسطة جميع المواد. تم تصميم مقاومات الأشعة فوق البنفسجية بحيث تتم الطباعة في طبقة تصوير رقيقة جدًا على سطح المقاومة. علاوة على ذلك، يجب أن تتطور المواد المقاومة للأشعة فوق البنفسجية مع التطور القادم في تكنولوجيا مصادر الضوء.

حول TTC
لقد حددنا باستمرار قيمة التكنولوجيا الجديدة التي ينفذها طاقمنا التنفيذي الماهر للغاية وذو الخلفيات المهنية لدينا. ومثل محترفي الملكية الفكرية الذين نعمل على تمكينهم، فإن جوعنا إلى التنمية لا ينتهي أبدًا. نحن نحسن ونتكيف وننفذ بطريقة استراتيجية.

يمكنك أيضا تواصل معنا لإعداد التشاور.

تي تي للاستشارات تقدم مجموعة من الحلول الفعالة وعالية الجودة لإدارة الملكية الفكرية الخاصة بك بدءًا من البحث عن براءات الاختراع, بحث البطلان, FTO (حرية التشغيل), تحسين محفظة براءات الاختراع, مراقبة براءات الاختراع, بحث المخالفات, صياغة براءات الاختراع والرسوم التوضيحية, وأكثر بكثير. نحن نقدم لكل من مكاتب المحاماة والشركات في العديد من الصناعات حلولاً متكاملة.