الطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى (EUVL)

6 مايو 2022
- أحدث التقنيات
- تكنولوجيا

المُقدّمة

الطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى (EUVL) هي تقنية متقدمة تستخدم مصدر ضوء بطول 13.5 نانومتر وهي مرشحة رائدة لعقدة بطول 22 نانومتر طباعة الحجرية وبعده. الطباعة الحجرية EUV هو الآن في المرحلة التجريبية باستخدام أدوات 0.33-NA في مواقع تصنيع الرقائق. ومن المتوقع الإنتاج على نطاق واسع في المستقبل القريب.

الطباعة الحجرية EUV تستخدم الأدوات مصدر البلازما لتوليد فوتونات 13.5 نانومتر.
يتم نقل الأنماط من القناع العاكس إلى ركيزة مغلفة بمادة حساسة للضوء تسمى مقاومة الضوء. تحدث تقنية الزخرفة في الفراغ في تكوين البصريات العاكسة بالكامل. تصنيع دوائر متكاملة ذات ميزات مطبوعة أصغر من 32 نانومتر.

ضوء EUV يتم تجميع البلازما في مجمع يوجه الضوء إلى بصريات التشكيل تسمى "بصريات الإضاءة". ينير الضوء قناعًا ضوئيًا. تشتمل بصريات الإضاءة على مرايا سقوط عادية متعددة الطبقات ومرايا سقوط للرعي.

فوق البنفسجي أقنعة عبارة عن مواد تمدد حراري منخفضة بقياس 6 بوصات مربعة وسماكة 1/4 بوصة ولها طلاء عاكس متعدد الطبقات وطبقة ماصة محفورة في طبقة الدائرة. تدخل الصورة المنعكسة لقناع EUV إلى جهاز الإسقاط البصري الذي يشتمل على ستة مرايا متعددة الطبقات أو أكثر مع NA > 0.25.

تركز الصورة النهائية على رقاقة سيليكون مغلفة بمادة مقاومة للحفر أو مقاومة للضوء حساسة للضوء. يعمل النظام في بيئة منخفضة الهيدروكربونات وعالية الفراغ

ومن بين العديد من التحديات التي تواجهها هي مصدر الضوء والمقاومات والبنية التحتية للأقنعة وتطوير أدوات الطباعة الحجرية الاقتصادية

يجب أن تتمتع المواد المقاومة بدقة عالية وحساسية عالية وخشونة حافة الخط المنخفضة (LER) وانخفاض إطلاق الغازات في وقت واحد.

EUV – تحديثات التكنولوجيا

الزخرفة المتعددة
ترسيب الطبقة الذرية (ALD)
بيليكل
يطلق عليها اسم عالية NA
منصة عالية NA، تسمى "EXE".

الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية: ما هي الخطوة التالية؟

من المتوقع أن ينمو سوق الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية من 2.98 مليار دولار أمريكي في عام 2018 إلى 10.31 مليار دولار أمريكي بحلول عام 2023، بمعدل نمو سنوي مركب قدره 28.16%. â € <
أحد العوائق الرئيسية في EUVL هو الحاجة إلى مصدر ضوء عالي الطاقة لإضاءة مقاوم الضوء. معدات الشحن ASML بإشعاع 250 واط الطاقة والقدرة على توليد إشعاع 450 واط.â € <
التحدي الآخر في EUVL هو الامتصاص القوي لإشعاع EUV بواسطة جميع المواد. تم تصميم مقاومات الأشعة فوق البنفسجية بحيث تتم الطباعة بطريقة رقيقة جدًا طبقة التصوير على سطح المقاومة. علاوة على ذلك، يجب أن تتطور المواد المقاومة للأشعة فوق البنفسجية مع التطور القادم في تكنولوجيا مصادر الضوء. â € <
تتضمن الطباعة الحجرية من الجيل التالي التي تتجاوز الأشعة فوق البنفسجية الطباعة الحجرية بالأشعة السينية، والطباعة الحجرية بشعاع الإلكترون، والطباعة الحجرية بشعاع الأيونات المركزة، والبصمة النانوية الطباعة الحجرية. تم وضع Nanoimprint للنجاح في EUV نظرًا لبساطتها المتأصلة وتكلفة التشغيل المنخفضة بالإضافة إلى نجاحها في LED، الصعب محركات الأقراص، وقطاعات الموائع الدقيقة.â € <

المعلن / كاتب التعليق

شاندانديب كور وهارفيندر سينغ

حول TTC

لقد حددنا باستمرار قيمة التكنولوجيا الجديدة التي ينفذها طاقمنا التنفيذي الماهر للغاية وذو الخلفيات المهنية لدينا. ومثل محترفي الملكية الفكرية الذين نعمل على تمكينهم، فإن جوعنا إلى التنمية لا ينتهي أبدًا. نحن نحسن ونتكيف وننفذ بطريقة استراتيجية.

يمكنك أيضا تواصل معنا لإعداد التشاور.

تي تي للاستشارات تقدم مجموعة من الحلول الفعالة وعالية الجودة لإدارة الملكية الفكرية الخاصة بك بدءًا من البحث عن براءات الاختراع, بحث البطلان, FTO (حرية التشغيل), تحسين محفظة براءات الاختراع, مراقبة براءات الاختراع, براءات الاختراع بحث المخالفات, صياغة براءات الاختراع والرسوم التوضيحية، وأكثر بكثير. نحن نقدم لكل من مكاتب المحاماة والشركات في العديد من الصناعات حلولاً متكاملة.

olutions.

الرسوم (تاج): طباعة الحجرية